在工业应用中，最常用的准分子波长是172 nm，当工业基材表面覆盖了污染物时，污染物可以是有机物质，例如脂肪和／氧化物。172 nm波长辐射的准分子灯可以直接破坏基材表面的分子键，其残留物被留在表面。在准分子模块和基材之间的空气间隙中，在172 nm辐射的辐射下，会产生高能氧自由基和臭氧，自由基会氧化残留物并将其去除。
准分子灯又称紫外准分子灯，通过采用准分子气体的配比，可以获得172nm、222nm或308nm等不同单色波长的准分子紫外光。准分子发射的紫外光具有光谱单一、谱线窄、单色紫外辐射光谱的特点，使得使用更集中的功率进行光治疗成为可能。
以172 nm的准分子波长为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物有机分子被强光能量切断氧化，进而分解成氧气、氢气等挥发性物质，最终蒸发消失，被清洗后的固体表面异常洁净。
与传统的汞紫外灯相比，准分子紫外灯具有超高强度、准确靶向、无汞害、环保、可回收利用、无二次污染等优点，克服了现有技术的瓶颈，并以其高能量密度、低反应温度、大反应面积、短反应时间等优异特性，在微电子、医学、材料科学和环境保护领域得到了广泛而独特的应用。
由于高能光子可以切断大部分化学键，杀死破坏核酸及其DNA的微生物，因此发射能量范围为3．5－10eV的光子的光源被用于许多领域。准分子灯的具体应用包括饮用水、游泳池水、空气、污水净化、工业废物的净化，烟道气和水中有机化合物的光化学合成和降解，有机涂料和油漆的光聚合以及光增强化学气相沉积。
在所有情况下，紫外光都会激发物质或裂解化学键，导致自由基或其他化学试剂的形成，从而引发所需的反应。通常，紫外线灯的强度监测需要一个月到两个月做一次，但主要看具体使用情况。如果紫外灯使用比较频繁的话，最好监测频率也要有所提高。工采网技术工程师推荐使用紫外线传感器来进行UV准分子灯的紫外线辐射强度监测，如工采网代理的韩国GENICOM 紫外线传感器 － GFUV－T10GD－L，以氮化镓铝为基础的材料，Schottky－type光电二极管，光伏模式操作；适用于远紫外线监测、准分子灯监控。
